1、计数效率；

2、计数准确度（灵敏度）；

3、流量准确度；

4、零计数；

这4个参数互相制约, 使得设计一个高质量的传感器具有强的挑战性. 也是其它粒子计数器制造商与国外水平的差距所在. 其它参数如重叠损失、测量重复性等属于制造商设计常规自检范畴。

一、计数效率

  根据JIS（日本工业标准）：0.3μm 要求50％±20％的计数效率；而在0.3 μm 处检测0.45μm（0.3 的1.5 倍，通常检测选择用0.5μm 代替）的计数效率， 要求达到100％±10％。 一般情况下是由比较法来完成，溯源性是由电镜计数而产生一级母机来保证。用对比法产生二级母机。二级母机可以作为参照标准，但不能再比对生产新的母机。

二、计数准确度（灵敏度）

  一台粒子计数器能否具有所称检测粒子的灵敏度是由的门限电路及其相关电路的分辨率和准确性来保证，可靠的方法就是采用的多通道信号分析仪来检测。电压标准均需可溯源。

三、流量准确度

  需要可溯源的流量计来检测标定。